薄膜測(cè)厚儀  ME04-C1216M  庫(kù)號(hào)：M317070  

一、 方案概述 
該技術(shù)方案根據(jù)隔膜產(chǎn)品厚度測(cè)試常規(guī)方式編寫(xiě)，提供的薄膜厚度儀滿(mǎn)足日常厚度測(cè)量技術(shù)要求，同時(shí)滿(mǎn)足國(guó)標(biāo)（GBT 6672-2001）規(guī)定的技術(shù)要求。薄膜厚度儀方案為多個(gè)部件的組合件，產(chǎn)品主要由C1216M 主機(jī)及其附屬件（整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置及接口軟件）組成。 該套方案旨在滿(mǎn)足用戶(hù)隔膜產(chǎn)品厚度檢測(cè)要求，實(shí)現(xiàn)厚度檢測(cè)功能。 

 薄膜測(cè)厚儀  ME04-C1216M  庫(kù)號(hào)：M317070  
二、基本技術(shù)要求 
薄膜測(cè)厚儀主要用于對(duì)薄膜產(chǎn)品進(jìn)行厚度檢測(cè)。 
使用地點(diǎn)：廠房檢驗(yàn)室 
實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度 20±2℃ 濕度 50±5% 
基本性能應(yīng)滿(mǎn)足以下要求： 
1、測(cè)量厚度范圍：>3um 
2、測(cè)量精度：0.01um 
3、產(chǎn)品在使用過(guò)程中不能出現(xiàn)任何事故，性能可靠，能長(zhǎng)周期運(yùn)行。 
4、測(cè)試軟件，能夠在測(cè)試過(guò)程中直觀顯示測(cè)試數(shù)據(jù)（數(shù)據(jù)傳輸至EXCEL表格或其他用戶(hù)位置），可用于后續(xù)統(tǒng)計(jì)分析。 

 薄膜測(cè)厚儀  ME04-C1216M  庫(kù)號(hào)：M317070  
三、 薄膜測(cè)厚儀技術(shù)參數(shù)描述 
薄膜厚度儀相關(guān)組件規(guī)格及技術(shù)參數(shù)如下： 
結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)特點(diǎn) 整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置組成
數(shù)顯箱（C1216M）特性： 
a, 數(shù)顯箱采用LCD 顯示，帶模擬指針顯示和兩行數(shù)字顯示 
b, 5 個(gè)三色燈用于超差和處于公差極*的報(bào)警 
c, 靜態(tài)測(cè)量： ± A, ± B 和所有組合 
d, 動(dòng)態(tài)測(cè)量：大值，小值，極差值，極和值，平均值 
e, 可通過(guò)按鍵或R232 接口連接設(shè)置軟件進(jìn)行相關(guān)的設(shè)置與編程 
-傳感器測(cè)頭特性： 
a, 測(cè)量范圍±2mm 
b, 通過(guò)提升裝置實(shí)現(xiàn)抬升功能 
c, 測(cè)力標(biāo)準(zhǔn)為0.75N 
d, 測(cè)量精度：0.05um（±0.1mm 范圍內(nèi)） 

工作臺(tái)架（820FC）特性： 
a, 工作范圍0-110mm 
b, 底座由淬硬不銹鋼制成 
c, 支撐桿為不銹鋼材質(zhì) 

傳感器測(cè)頭（1301）特性：
工作量程：±1mm
支持手動(dòng)提升線提升
大測(cè)量誤差：
0.5μm（±0.5mm 量程范圍內(nèi)） 
1μm（±1mm 量程范圍內(nèi)） 
樣品種類(lèi)（儀器適用的分析樣品種類(lèi)） 薄膜等
儀器的測(cè)量范圍 大量程±1mm
儀器的分辨率 0.01μm
溫度（或其它技術(shù)參數(shù)）范圍 工作于室溫狀態(tài)
儀器配置的主要附件及規(guī)格 見(jiàn)配置清單
測(cè)試的重復(fù)性誤差fw 0.1μm
鍵盤(pán)和顯示 LED 屏幕顯示
水、電、氣等外部條件要求 220V，50Hz，11W
外形尺寸 數(shù)顯箱：205mm x 160 mm x 165 mm 
工作臺(tái)架：155 mm x 100 mm x 216.5 mm 
重量 數(shù)顯箱：2.1Kg 工作臺(tái)架：2.6Kg
整套系統(tǒng)(數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置)